风机过滤单元，也就是我们常说的FFU，它是一款自带动力的过滤净化装置。主要是有风机和高效过滤器组合而成的末端净化设备，其主要工作过程是：由空调处理机把空气（新风）处理成所需要的状态点后送入静压箱与回风混合，再经过FFU的风机加压后经过高效过滤器（HEPA）或超高效空气过滤器（ULPA）过滤后送入无尘室内；而原本的旧风则经过架空地板或者侧墙输送回到干盘管，在干盘管中经过冷（热）处理后，再由回压机送回到静压箱，这便完成整个无尘室空气过滤的循环。这样的系统最常应用在对无尘室有超静需求的场所，例如制作大型集成电路晶圆、TFT显示器、固态硬盘等等的无尘车间。这里我们讲讲FFU的特点：
 

 
1．模块化设备，可按需调整位置
因为洁净室的壁板都是按照天花板格子的模数来布置，并且由于其特殊的节点构造，使得洁净室的壁板可随时调整位置来改变房间的布局，以此达到车间生产需求。所以在房间布局做调整时，对于某一场地的洁净度需求，也可通过调整FFU的位置来满足要求。FFU是自带动力的模块化净化设备，它不受场所过多的限制，可随时的调整位置或增减其数量来确保某一场地的洁净度要求。这是以往的集中式送风系统所不能达到的。
 
2．出风均匀稳定
选用特殊的空气流通通道以及配有均流系统的设计，出风速度均匀而稳定。这个相对于以往的集中式送风系统来说，避免了各送风口风量不平衡的问题。
 
3．计算机控制，节能效果显著
FFU系统的风管数量很少，除了新风需要用到风管输送以外，大量的回风都是以小循环的方式来运行的，因此大大降低了风管的阻力，从而减少了消耗。并且由于FFU的面风速一般是以0.45±20%的均匀输出，因此空气通过过滤器的的阻力变小；FFU风机过滤单元的风机功率很小，其大都采用高效率交流电机，同时对风机叶轮形状也进行了改进，且材质多采用铝合金制作防止再次生尘，大大提高了其综合效率。相比于传统的集中式送风方式，使用FFU送风过滤更能有效的节能40%以上。因此，虽然在初期FFU系统成本比较高，但是在后期维护与能耗使用中能很好的节约回来。
 
4．缩短建设周期
因为FFU风机过滤单元的送风系统不像集中式送风那样需要巨大的送回风管，所以对于某些层高紧张的无尘室改建项目是非常合适的，且最主要的是因为不需要制作风管，所以大大缩短了制作与安装的工期，对于企业来说，缩短工期，快速开工带来收益，选用FFU成为了一种可能。
 
5．负压通风
由于FFU风机过滤单元自身能够提供静压，所以其送风静压箱相对于洁净室来说，是负压，送风静压箱内的颗粒就不再受到压力的作用而泄漏到洁净区内，因此即使风口安装出错，存在泄漏问题，那也是从洁净室泄露到送风静压箱中，从而使得密封变得更简单、更安全。